RTS-5型双电测四探针测试仪采用先进的四探针双电测技术，结合范德堡方法，实现了两次精确测量。这种技术能够自动消除样品尺寸、边界效应以及探针位置不一致等因素对测量结果的影响，不需要用户预知探针间距和样品尺寸。这使得每次测量都能动态修正几何因素，从而显著提高了测量准确度。

该仪器配备了一套友好的计算机软件，可以简化测试流程并帮助用户分析测试数据。软件功能包括数据记录、保存、打印，以及统计分析，如最大值、最小值、平均值等。此外，软件还可生成直方图，并将数据导出到Excel进行进一步分析。

技术参数如下：电阻率范围0.0001～2000Ω.cm（可扩展），方块电阻0.001～20000Ω/□（可扩展），电导率0.0005～10000s/cm。它可以检测晶片厚度不超过3mm，晶片直径支持140mm×150mm至400mm×500mm（需配套测试台）。

恒流源具有四档选择性调整，即0.1mA、1mA、10mA和100mA，每档连续调节。数字电压表显示范围为000.00～199.99mV，有分辨力10μV，对输入阻抗有≥1000MΩ要求，对精度有±0.1%保证。

四探针探头设计上具有基本指标间距为1±0.01mm，可提供碳化钨或高速钢F0.5mm材料的探针，其机械游移率控制在≤0.3%以下。在模拟电阻测量方面，其相对误差满足JJG508-87标准，小于等于±4%；整机相对误差小于±4%，且标准不确定度同样在此范围内。

RTS-5型双电测四探针测试仪通过双电測原理执行复杂计算，以获得最终结果，并支持单独使用RTS-4软件进行单点接触式三极管和二极管的电子元件与半导体设备的高精度定性与定量评估。