RTS-5型双电测四探针测试仪采用先进的四探针双电测技术，结合范德堡方法，实现了两次精确测量。这种技术能够自动消除样品尺寸、边界效应以及探针位置不一致等因素对测量结果的影响，不需要用户预知探针间距和样品尺寸。这使得每次测量都能动态修正几何因素，从而显著提高了测量准确度。

该仪器配备了一套友好的计算机软件，可以简化测试流程并帮助用户分析数据。软件功能包括记录、保存和打印测试数据，以及统计分析，并且可以生成直方图。此外，软件还支持自动选择适当的电流量程档进行测试。

技术参数如下：可检测的最大晶片厚度为3毫米，可检测晶片直径为140mmX150mm（配S-2A型台架）、200mmX200mm（配S-2B型台架）或400mmX500mm（配S-2C型台架）。恒流源提供四个不同的电流量程选项，每个选项都可以连续调节。数字电压表具有分辨力10微伏，并且显示精度高达±0.1%。

此外，该仪器具有一套高质量的探头，其间距精确到±0.01毫米，机械游移率低于0.3%，并且具有碳化钨或高速钢制成的小号指示针。整机相对误差小于4%，标准不确定度也低至4%。

RTS-5型双电测四探针测试仪采用双电測原理进行操作，可以通过软件控制来进行两种类型的测试，即单位组合模式和双位组合模式。这使得用户可以根据自己的需求选择最适合他们所需应用程序的一种模式。此外，该系统还支持Excel文件导出，以便进一步数据分析。