RTS-5型双电测四探针测试仪采用先进的四探针双电测技术，结合范德堡方法，实现了两次精确测量。该仪器通过计算机控制，无需精确知道探针间距和样品尺寸，只需轻松操作便能自动消除各种影响因素，从而显著提高测量结果的准确性。

其软件系统是一款运行在电脑上的用户友好界面程序，可帮助用户轻松完成各项测试并分析数据。主要技术参数包括：电阻率0.0001～2000Ω.cm、方块电阻0.001～20000Ω/□、电导率0.0005～10000s/cm等。此外，还提供恒流源选项，每档可调节至4种不同的电流量程。

数字显示屏分辨力高达10μV，输入阻抗超过1000MΩ，并具备±0.1%的精度和四位半红色发光管显示。探头间距为1±0.01mm，有碳化钨或高速钢制成，其机械游移率低于3%，适用于各种应用场景。

整机相对误差不超过4%，标准不确定度同样保持在4%之内。在使用时，可以选择双电测或单电测模式，以符合不同需求。此外，该仪器配备了实时采集功能，对每个点进行两次组合模式下的读数，再用公式计算出最终结果，使得数据更加准确可靠。

软件功能丰富，不仅可以记录和打印测试数据，还能够统计分析以及生成直方图，并且支持将数据导入Excel进行进一步处理。同时，它还具备自动測量功能，根据样品特性自动调整测试条件。此外，该仪器具有并口接口，便于与计算机快速通讯，满足快速采集数据的需求。

最后，该设备适用于23±2℃及65%以下相对湿度的环境下，以避免干扰和损害，同时应避免强光直射以保护设备性能。