RTS-5型双电测四探针测试仪，以其先进的技术，革新了传统的四探针测量方法。它采用了创新的双电测组合技术，结合范德堡方法，不仅克服了样品尺寸、边界效应和探针位置等因素对测量结果的影响，还能自动消除这些干扰，从而显著提高了测量准确度。

该仪器搭载了一套用户友好的软件测试系统，通过计算机运行，可以便捷地进行各种测试并分析数据。它能够处理极广泛的电阻率、方块电阻和电导率范围，并且支持对晶片厚度和直径的大范围检测。

此外，该仪器配备有高精度恒流源和数字电压表，可提供精确到±0.1%的读数。此外，其探头设计具有高可靠性，包括碳化钨或高速钢制成的小口径探针，以及强大的机械游移控制能力。

在模拟电阻测量方面，该仪器达到了±0.3%相对误差标准，而整机相对误差不超过±4%，符合国家标准。在使用时，它可以根据需要选择单次或两次组合模式进行操作，并且具备实时数据采集功能。

RTS-5型双电测四探针测试仪不仅适用于常规实验室环境，而且还具有良好的通讯接口，如并行端口，可以快速连接至计算机以实现高速数据采集。此外，它也支持输出到Excel文件，便于进一步分析与研究。