RTS-5型双电测四探针测试仪，以其先进的技术手段，革新了传统测量方法。它采用了四探针双电测组合，这一创新在于将范德堡测量方法的精髓融入到直线四探针上，实现了电流和电压探针的智能交换。通过计算机精确控制，每次测量都能自动消除样品尺寸、边界效应以及探针位置等因素对结果的影响。这意味着用户无需了解探针间距或样品尺寸，只需简单操作即可获得准确数据。

RTS-5型测试仪搭载了一套运行于电脑上的软件系统，该系统配备友好化的人机界面，使得用户能够轻松进行各种测试，并获取详细数据。此外，软件还提供统计分析功能，便于处理和解读测试结果。

技术参数如下：检测范围包括电阻率（0.0001Ω.cm至2000Ω.cm，可扩展）、方块电阻（0.001Ω/□至20000Ω/□，可扩展）及电导率（0.0005s/cm至10000s/cm）。同时，它支持晶片厚度不超过3mm的检测，并可适用于直径140mmX150mm、200mmX200mm或400mmX500mm等不同大小样本。

恒流源提供多个档位选择，其中每个档位均具备连续调节功能。数字显示屏具有4位半红色LED显示，与之相匹配的是高分辨力10微伏输入阻抗，以及±0.1% 的精度标准。此外，极性和超量程自动显示，为用户带来了极大的便利。

四探针头具备基本指标，如间距稳定性、一致性和机械游移率低廉，而模拟器则以JJG508-87为准，其相对误差小于±1字。在整机水平上，对硅标样片进行检测时，其最大相对误差不超过±4%，且标准不确定度也达到了这个水平。整个系统依赖于双电测原理来计算最终结果，而这正是该设备独特之处所在。

此外，该设备可以兼容两种不同的测试软件：RTS-5双电测软件与RTS-4单体检验软件。这使得用户有更多灵活性，可以根据具体需求选择使用哪一种标准。此外，所有这些功能均集成在一个易用的接口中，使得与其他设备通信变得简单直接。